[单选题]

传统的光刻技术中，镜头与光刻胶之间的介质是空气，而浸入式技术是将空气介质换成液体，得到合适波长的光，以提高成像分辨率，以下说法错误的是：

A . 液体局部温度起伏会引起成像质量恶化
B . 为了减少液体对光线的吸收，液层厚度不能太大
C . 以纯水为介质时，可以选取任意波长紫外光为光源
D . 可以注入高折射率的液体以得到更高频率的光，提高成像分辨率

　　

　　参考答案：

C

　　

　　答案解析：

本题为物理相关常识。
第一步：分析考点
浸入式技术利用光通过液体介质后光源波长缩短来提高分辨率，其缩短的倍率即为液体介质的折射率。在193nm波长下，水的折射率是1.44，可以实现NA大于1，此时不能随意选取任意波长紫外光为光源。C项说法错误，本题选非，当选。

第二步：分析选项
A选项：如果水温变化不均匀会导致像面聚焦偏移和球差的改变。在曝光系统中焦面的偏移可由调焦调平系统校正然而局部的温度起伏将引起局部的成像质量恶化。说法正确，本体选非，排除。

B选项：介质对光的吸收指光通过介质时，强度随着介质厚度增加而减少的现象。说法正确，本体选非，排除。

D选项：注入高折射率的浸没液体可以使更高空间频率的光波入射到光刻胶上，因此成像分辨率得以提高。说法正确，本体选非，排除。

故本题选C。
【2022-联考/安徽-058】

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（编辑：佛山华图）